柳百新，材料科学家，中国科学院院士。提出离子束混合在二元金属系统中形成非晶态合金的经验规则和热力学模型，并用第一性原理计算论证了亚稳合金相的稳定性。提出金属多层膜中非晶化反应的判据，并用分子动力学方法揭示其原子运动机制。阐明了离子注入形成金属氮化物的规律。发展出强流金属离子注入制备金属硅化物的新技术。 有一个哥哥柳百成，是中国工程院院士，材料科学家。
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