朱志敏，物理博士，电子科学博士；任职于布鲁尔科技有限公司的罗拉• 研发部。可靠的BARC系统为浸没光刻中的各种基板提供最佳解决方案、铸造效率通过普通光刻主题、硅BARC分析的高分辨率缺陷计量、碳/硬掩模相互作用对硬掩模性能的影响、22-nm节点的薄硬掩模图案堆叠等研究文章。
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